真空等离子清洗机
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真空等离子清洗机

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除胶 去除光刻胶、电路板去胶,提升材料表面的亲水性、附着力、粘接力
刻蚀 ICP硅刻蚀、CCP介质刻蚀、金属刻蚀,实现各向异性刻蚀,保证细小图形转移后的保真性
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微波等离子清洗原理以及在微电子芯片封装工艺中的应用
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